如何選擇合適的真空泵

　 2020-11-16　 548

文章摘要：大家都知道真空泵，真空泵在各個行業(yè)都很流行，從而刺激了真空泵行業(yè)的快速發(fā)展。市面上的真空泵種類和款式多種多樣，被各種商家吹得天花亂墜，很多人都猶豫買不買。那么應(yīng)該如何選擇合適的真空…...

大家都知道真空泵，真空泵在各個行業(yè)都很流行，從而刺激了真空泵行業(yè)的快速發(fā)展。市面上的真空泵種類和款式多種多樣，被各種商家吹得天花亂墜，很多人都猶豫買不買。那么應(yīng)該如何選擇合適的真空泵，又是根據(jù)什么標(biāo)準(zhǔn)呢？

1.真空泵的工作壓力應(yīng)滿足真空度和真空設(shè)備工作壓力的要求。比如真空鍍膜要求真空度1×10-5mmHg，選擇的真空泵至少要5×10-6mmHg。泵的真空度一般選擇比真空設(shè)備高一半到一個數(shù)量級。

2.正確選擇真空泵的工作點(diǎn)。每個泵都有一個工作壓力范圍，例如擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmHg。在如此寬的壓力范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓力而變化，其穩(wěn)定工作壓力范圍為5×10-4~5×10-6mmHg。所以泵的工作點(diǎn)要選在這個范圍內(nèi)，不能在10-8mmHg下長時間工作。再比如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓力應(yīng)小于1×10-5mmHg。

3.真空泵在其工作壓力下，應(yīng)能排出真空設(shè)備過程中產(chǎn)生的所有氣體。

4.正確組合真空泵。由于真空泵的選擇性抽真空，有時一臺泵不能滿足抽真空要求，需要組合補(bǔ)充幾臺泵才能滿足抽真空要求。例如，鈦升華泵對氫的泵送速度很高，但不能泵送氦，而三極管濺射離子泵(或雙極不對稱陰極濺射離子泵)對氬的泵送速度很高。如果將兩個泵結(jié)合起來，真空裝置將獲得更好的真空度。另外，有些真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓力低于大氣壓，所以需要前置泵，所以都需要組合泵。

5.真空設(shè)備對油污的要求。如果設(shè)備嚴(yán)格要求無油，則應(yīng)選用各種無油泵，如水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加一些防油污措施，比如加冷阱、擋板、隔油池等。，也能滿足清潔真空的要求。

6.了解泵送氣體的成分，氣體中是否含有可冷凝的蒸氣，是否有顆粒粉塵，是否有腐蝕性等。選擇真空泵時，需要了解氣體成分，為泵送的氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸汽、顆粒和腐蝕性氣體，應(yīng)考慮安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。

7.真空泵排出的油蒸氣對環(huán)境有什么影響？如果不允許污染環(huán)境，可以選擇無油真空泵，或者將油蒸汽排到室外。

8.真空泵產(chǎn)生的振動對工藝和環(huán)境有影響嗎？如果工藝不允許，選擇無振動的泵或采取防振措施。

9.真空泵的價格、運(yùn)行和維護(hù)成本。